在各種工作條件下都能執(zhí)行準(zhǔn)確的測量
一體化解決方案可以表征高達(dá) 1500 A 和 10 kV 的功率器件
可在高壓偏置下進(jìn)行中檔電流測量(例如 1200 V 時為 500 mA)
μΩ 導(dǎo)通電阻測量能力
在高壓偏置下進(jìn)行準(zhǔn)確的皮安級以下電流測量
-50 ℃ 至 +250 ℃ 全自動熱測試
在高達(dá) 3000 V 直流偏置下進(jìn)行全自動電容(Ciss、Coss、Crss 等)測量
最短 10 μs 的大功率脈沖測量
封裝器件和晶圓上 IGBT/FET 柵極電荷測量
用于表征 GaN 電流崩塌效應(yīng)的高壓/大電流快速開關(guān)選件
多達(dá)五個高壓(3 kV)源表通道,極大地提高靈活性
通過配有互鎖裝置的測試夾具進(jìn)行安全的溫度相關(guān)測試
無需重新連接線纜即可在高壓測量和大電流測量之間切換
自動形成測試電路,用于測試封裝器件和晶圓上器件的晶體管結(jié)電容(Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等)
標(biāo)配配有互鎖裝置的測試夾具,用于安全地測試封裝功率器件
有支持和安全保障的晶圓上大功率測試,電流超過 200 A,電壓高達(dá) 10 kV
示波器視圖使您可以驗證所輸入的電壓和電流波形
在 MS Windows 環(huán)境中運(yùn)行的 EasyEXPERT 軟件有助于改善數(shù)據(jù)管理和分析
多種測量模塊可供選擇
支持多達(dá) 6 個引腳的大功率器件
Keysight B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀是一款能夠表征皮安級以下到 10 kV / 1500 A 大功率器件的一體化解決方案。 這些功能有助于評測 IGBT 等新器件以及 GaN 和 SiC 等新材料。 B1505A 支持多種模塊:高壓 SMU(HVSMU)、大電流 SMU(HCSMU)、超高電流(UHC)模塊、超高壓(UHV)模塊和高壓中電流(HVMC)模塊。 B1505A 還支持大功率 SMU(1 A/200 V)、中功率 SMU(100 mA/100 V)、中電流 SMU(1 A/30 V 脈沖、100 mA/30 V 直流)和多頻電容測量單元(1 kHz 至 5 MHz)。 其 10 插槽模塊化主機(jī)讓您能夠靈活配置 B1505A,更好地滿足測量需求。
它還可以在高壓偏置(高達(dá) 3000 V)條件下執(zhí)行 Ciss、Coss 和 Crss 等全自動電容測量,并可以輕松評測柵極電荷,后者是這個高頻開關(guān)轉(zhuǎn)換器時代的另一個重要參數(shù)。 還支持 -50 ℃ 到 +250 ℃ 的自動熱表征。
B1505A 軟件環(huán)境以 Microsoft? Windows? 10 操作系統(tǒng)為基礎(chǔ),允許用戶通過曲線追蹤儀便捷地檢驗器件特性和檢測器件故障。 B1505A 與傳統(tǒng)的曲線追蹤儀一樣支持旋鈕控制可變掃描功能。 這有助于實時評測擊穿電壓等參數(shù)。 它還支持“示波器視圖”,該視圖可以直觀地幫助操作人員優(yōu)化輸入到器件中的電壓和電流。 測量設(shè)置信息和數(shù)據(jù)自動保存到 B1505A 的內(nèi)置硬盤中, 也可以復(fù)制到 U 盤和其他便攜式存儲器上。 測量數(shù)據(jù)可以通過器件測量結(jié)果匯總輕松復(fù)制到工程報告中。
穩(wěn)定可靠的測試夾具解決方案對于確保操作人員的安全(鑒于有可能產(chǎn)生高電壓和大電流)以及支持各種類型的功率器件封裝非常重要。 以前的傳統(tǒng)曲線追蹤儀存在一定的局限性——某些功率器件由于尺寸的關(guān)系而無法進(jìn)行評測,有時還需要臨時配備適配器才能測試這些器件。 相比之下,B1505A 的測試夾具可以適應(yīng)各種形狀和尺寸的器件,例如功率 MOSFET、二極管、IGBT 等等。 這一功能是通過配有可定制測試夾具模塊的大型測試夾具適配器實現(xiàn)的。 此外,測試夾具的內(nèi)置互鎖機(jī)制確保能夠?qū)⒏唠妷汉痛箅娏靼踩剌斎虢o被測器件。
是德科技可以提供轉(zhuǎn)換套件,使用戶能夠?qū)⑵洮F(xiàn)有的 B1500A 主機(jī)轉(zhuǎn)換為 B1505A 主機(jī)。 這樣,當(dāng)前的 B1500A 用戶就能以較低的成本擴(kuò)展現(xiàn)有儀器的電壓和電流測量能力。
測量資源 | 所需模塊/擴(kuò)展器 | 所需插槽 | 最大配置 | 主要技術(shù)指標(biāo) |
大功率 SMU(HPSMU) | B1510A HPSMU | 2 | 4 | 高達(dá) 200 V,1 A 電力 10 fA 電流測量分辨率 |
中功率 SMU(MPSMU) | B1511B MPSMU | 1 | 10 | 高達(dá) 100 V,100 mA 電力,10 fA 電流測量分辨率 |
大電流 SMU(HCSMU) | B1512A HCSMU | 2 | 2 | 20 A/20 V(脈沖);1 A/40 V(直流)*1 |
高壓 SMU(HVSMU) | B1513C HVSMU | 2 | 5 | 1500 V/8 mA;3000 V/4 mA;(脈沖和直流) |
中電流 SMU(MCSMU) | B1514A MCSMU | 1 | 6 | 1 A/30 V(脈沖);100 mA/30 V(直流) |
多頻電容測量單元(MFCMU) | B1520A MFCMU | 1 | 1 | 1 kHz 至 5 MHz。 0 至 ±25 V,使用 MFCMU 內(nèi)部直流偏置 0 至 ±3000 V,使用 HVSMU 和高壓偏置 T 型接頭 |
高壓中電流單元(HVMCU) | N1266A HVSMU 電流擴(kuò)展器, B1513B HVSMU 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU | 4 - 6 | 1 | ±1500 V/2.5 A(脈沖),±2200 V/1.1 A(脈沖) |
超大電流單元(UHCU) | N1265A 超大電流擴(kuò)展器/夾具 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU | 2 - 4 | 1 | 1500 A/60 V(脈沖),22.5 kW 峰值功率, ±500 A/60 V(脈沖),7.5 kW 峰值功率 |
超高電壓單元(UHVU) | N1268A 超高壓擴(kuò)展器 和兩個 B1514A MCSMU 或 B1512A HCSMU 與 B1514A MCSMU 的組合 | 2 - 3 | 1 | 10 kV/10 mA(直流),10 kV/20 mA(脈沖) |
*1. 結(jié)合使用兩個 HCSMU 和雙 HCSMU 組合適配器,可將電流范圍擴(kuò)大到 40 A/20 V(脈沖)和 2 A/40 V(直流)。